BALLUFF压力传感器以机械结构型的器件为主，以弹性元件的形变指示压力，但这种结构尺寸大、质量重，不能提供电学输出。随着半导体技术的发展，半导体压力传感器也应运而生。其特点是体积小、质量轻、准确度高、温度特性好。特别是随着MEMS技术的发展，半导体传感器向着微型化发展，而且其功耗小、可靠性高。

巴鲁夫感应式传感器借助振荡器形成了一个高频场;线圈在传感器*辐射该场，从而形成传感场。当金属物体进入传感场时，涡电流就被引入其内，从而降低振荡器发出的能量。当能量降至足够低时，振荡器将停振。触发电路在感应到振荡停振时，将改变输出端开关装置的状态。